数字式;

流量范围:10 sccm-5 slm;

精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);

正常工作压力:50 psig(345 kPag)

单位：台
产地：美国
交货周期：6周
保期：一年
验收标准：OEM标准

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